ULVAC愛(ài)發(fā)科  渦輪分子泵   羅茨泵  UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS

特點(diǎn)

泵體和控制器分開(kāi)?？刂破骺梢员O(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設(shè)計(jì)更靈活。

排氣速度300L/s～4000L/s的型號(hào)陣容。

分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過(guò)改變轉(zhuǎn)速在腔室中實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。

高耐用性和安全性。通過(guò)了大氣沖擊試驗(yàn)、急停測(cè)試等各種安全性確認(rèn)試驗(yàn)。

用途

各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)

- 半導(dǎo)體制造設(shè)備

- 蒸鍍?cè)O(shè)備

- 濺射設(shè)備

- 研究開(kāi)發(fā)設(shè)備

- 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)裝置等

主真空泵系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應(yīng)生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。

其他的高真空排氣系統(tǒng)

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代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁禮、KAIJO 楷捷、OHM歐姆電機(jī)、NIPPONMUKI日本無(wú)機(jī)、SUIDEN瑞電、TACMINA泰克米納、AMANO安滿能、NIDEC-SHIMPO尼得

科新寶、OKK機(jī)床、AMADA天田、MRM、新熱工業(yè)SHINNETSU、 ATAGO愛(ài)拓、ARIMITSU有光工

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設(shè)備類產(chǎn)品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和電機(jī)、OSAWA大澤、TORAY東麗、EOLUS真空企業(yè)

株式會(huì)社、OKK大宮工業(yè)、KOTOHIRA琴平工業(yè)、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、CCS光源、MASDAC隧道式烘烤爐、鈴與工業(yè)株式會(huì)社納豆生產(chǎn)設(shè)備、IKURATOOLS育良精機(jī)、ANLET安耐

特、Kitagawa北川、YOSHIKAWA吉川鐵工、NAKAMURA中村留、SEIBU西部、KIWA紀(jì)和機(jī)械、

SHIZUOKA靜岡鐵工所、KAN管制作所、TAKEDA武田機(jī)械、MEITOU名東化工、FRISTAM弗里森、IWAKI易威奇

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小眾產(chǎn)品：IRI軟水機(jī)、USUTANI臼谷電子點(diǎn)焊機(jī)、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發(fā)生裝置、工業(yè)CT無(wú)損檢測(cè) 國(guó)產(chǎn)（可提供技術(shù)支持與方案）、hibikicorp

新能源動(dòng)力電池： 日本旭精工、熊谷理機(jī)

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